光谱型椭圆偏振仪

光谱型椭圆偏振仪
除了表征薄膜厚度和光学常数，椭偏分析还提供了关于材料特性的丰富信息: 各向异性、梯度变化、形貌、结晶度、化学组分、电导率。

更多信息:

New UVISEL 2 Scientific Spectroscopic Ellipsometer - Scientific Spectroscopic Ellipsometer Platform

The ultimate solution to every challenge in thin film measurement

研究级全自动椭偏仪UVISEL 2
UVISEL 2是一款完全革新的全自动光谱椭偏仪，继承并发展了经典机型UVISEL的高准确性，高灵敏度和高稳定性等技术特点的同时，配合革新的可视系统，多达8个尺寸微光斑选项，最小达35*85um2,是目前市场上独一无二的机型。

产品特点：

1，完全自动化设计，自动对焦，校正
2，全新光路，电路设计，测量精度更高，速度更快
3，双光栅光谱仪系统，杂散光抑制水平高
4，8个尺寸微光斑，专利可视技术
5，50KHZ高频PEM相调制技术，测量光路中无运动部件
6，自动平台样品扫描成像
7，配置灵活，测量范围可扩展至190-2100nm

UVISEL - 光谱型椭圆偏振仪－远紫外到近红外: 142 to 2100 nm

产品:

UVISEL VIS: 210-880 nm

UVISEL FUV: 190-880 nm

UVISEL NIR: 245-2100 nm

UVISEL ER: 190-2100 nm

UVISEL VUV: 142-880 nm

测量薄膜厚度和光学常数。用于研究和工艺发展.

研究级全自动椭偏仪UVISEL
20多年技术积累和发展的结晶，是一款高准确性，高灵敏度，高稳定性的经典椭偏机型。即使在透明的基底上也能对超薄膜进行最精确的测量。采用PEM相位调制技术，与机械旋转部件技术相比，能提供更好的稳定性和信噪比。

产品特点：

1，50KHZ高频PEM相调制技术，测量光路中无运动部件。
2，具备超薄膜所需的测量精度，超厚膜所需的高光谱分辨率
3，多个实用微光斑尺寸选项
4，具有毫秒级超快动态采集模式，可用于在线实时监测
5，自动平台样品扫描成像，变温台，催化池，密封池等多种附件
6，配置灵活，测量范围可扩展至190-2100nm

Auto SE - 一键式薄膜测量工具

Auto SE——让您的例行测量工作不再枯燥！

一键式全自动快速椭偏仪
新型的全自动薄膜测量分析工具，工业化设计，操作简单，可在几秒内完成全自动测量和分析，并输出分析报告，是用于快速薄膜测量和器件质量控制的理想的解决方案

产品特点：
1，完全自动化设计，一键式操作，直接报告输出
2，液晶调制技术，测量光路中无运动部件
3，CCD探测系统，快速全谱输出
4，多个微光斑尺寸选择，专利可视技术
5，固定70度入射角，封闭式样品仓
6，光谱范围450-1000nm