单点分析以及自动球面成像.

双真空管模式.

光斑尺寸自1.2 mm 到 10 µm.

单点分析以及自动成像.

正常大气压力下分析

光斑尺寸自1.2 mm 到 10 µm.

与电子显微镜组合在一起，最适合用于微小区域的夹杂物解析、组成分析。装备有支持整个分析业务流程图形式的导航系统。高级功能便于使用——今后的X射线分析装置。

EMAX x-act 可获得更好的分辨率，尤其是对原子序数较小的元素。EMAX x-act所使用的是硅漂移探头。