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产品特点 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
● 程控恒流驱动式八区表面冷光光源,可适应复杂的工件测量 ● 具有快速自动对焦,自动寻边,强大的编程和自动测量功能。 ● 采用亚像素细分技术,提高边界分辨能力。 ● SPC数据处理分析,提高边界分辨能力 ● X、Y、Z三轴伺服控制,定位精度高速度快,X、Y速度可达300mm/s,运行平稳 ● X、Y向导轨采用高精度花岗石,具有高稳定性及刚性,不易变形 ● X、Y向移动的部分采用低摩擦、高速度、高精度的气浮移动导向系统 ● 可选配自动变倍功能,无需频繁像素校正实现多倍率下高效测量 ● 可配白光进行纳米级深度测量 ● 采用气浮传动,精度高,稳定性好 ● 花岗石直线度和玻璃平面度好,花岗石导轨无摩擦、不磨损 ● 激光指示器指示测量位置,快速定位,并辅助对焦。 ● 配置操纵手柄(方便测量孔类工件) ● 可选配镜头(适合不同的物方视场) | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
技术规格参数 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
型号 | VMS-6060H | VMS-6090H | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||
玻璃台尺寸(mm) | 640*770 | 640*1070 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||
运动行程(mm) | 600*600*200 | 600*900*200 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||
外形尺寸(L*W*H)(mm) | 1500*1300*1510 | 1800*1300*1510 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||
仪器重量(kg) | 1281 | 1500 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||
X、Y、Z数显表分辨力 | 0.5μm | 0.5μm | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||
X、Y坐标示值误差 | (3+L/200)μm(L为被测量长度,单位:mm) | (3+L/200)μm(L为被测量长度,单位:mm) | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||
影像系统 | 摄像机: 1/2"CCD摄像机 变倍物镜倍率: 0.7X---4.5X 视频倍率: 23.5X-148X 物方视场: 11.1mm-1.7mm 表面光源与透射光源均用LED,亮度可调 可选配RENISHAW简易测头和M3D-MBC测量软件 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||
VMS-6060H/6090H工作环境 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
电 源 | AC100----240V 50/60Hz | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||
功 率 | 450W(不包含电脑) | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||
气源压力 | ≥0.5MPa | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||
空气流量 | 120L/min (0.4MPa) | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||
温度范围 | 20±2℃ < 1℃/h < 2℃/24h < 1℃/m | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||
湿 度 | 55%—65% | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||
仪器配件 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
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