最小可检漏率(按AVS2.1和EN1518标准)
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<5×10-12mbar.l/s
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最小可检漏率(吸模式)
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<3×10-8mbar.l/s
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入口压强 粗检模式
精检模式
超精检模式
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15 mbar
2 mbar
0.4 mbar
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抽泵抽速
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16-25立方米/小时
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氦气抽速(进气口处) 粗检模式
精检模式
超精检模式
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8 升/秒
7升/秒
2.5升/秒
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可检质量数
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2、3、4amu, 氢,3氦,氦
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电源电压
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110-120V;220-240V
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重量
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110公斤;242磅
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尺寸,包括手把(长×宽×高)
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1068×525×850毫米
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