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产品型号:PEV-1
公司名称:万德泉真空-真空技术全套解决方案
所在地:广东深圳
发布时间:2013-05-29
联系人:简俊勇
产品简介
美国keyhigh PEV-1压电阀(PEV-1 PIEZOELECTRIC GAS LEAK VALVE)是为了适用真空系统的高精度气体流量控制阀门,主要应用领域包括:磁控溅射镀膜,光学镀膜,ITO镀膜,等离子体刻蚀等。可与国产自动压强控制仪配套使用,来实现闭环控制,达到稳定压强的目的,性价比高。
产品详情
PEV-1 压电阀主要技术特点:
1、控制模式:开环控制和闭环控制
2、易于集成:可与国产自动压强控制仪配套使用,来实现闭环控制,达到稳定压强的目的,性价比高,同时亦可选择进口压强控制仪
3、响应时间快
4、性能稳定,压电陶瓷片寿命长
6、无机械连接件,无伺服马达,无磨损,在断电的情况下可实现自动关闭的特点
PEV-1压电阀技术参数:
阀门类型:压电晶体
可控制的气体:兼容各种材料
流量范围:0?500 SCCM
漏率:<1x10?9 scc/sec(1ATM HE ON INLET)
响应时间:2微秒
最大进气压力:50 PSI
驱动要求:电压:0?100 VDC,电流:<10μA
操作温度范围:+10°C to+60°C
材料:316不绣刚,氟橡胶,特富龙,陶瓷片
进气和出气连接:1/4"Swagelok Fittings
电气连接:标准BNC
重量:800克