BCG450 B-A皮拉尼电容膜片真空

INFICON 贝阿德-阿尔珀特皮拉尼电容隔片真空计 BCG450 将三大不同技术的优势融合在一个体积小、价格低的规管中，可以测量从 5×10^-10 到 1500 毫巴（3.75×10^-10 到 1125 托）的过程压力和基本压力。 BCG450 的设计旨在替代三个传感器（热电离、加强对流皮拉尼和真空开关），因而节省了成本和宝贵的工具空间。

益处

BCG450 可节省成本和工具空间，降低真空测量安装与设置的复杂性
10 托以上的压力测量不受气体类型限制，能够对任何气体混合物提供更为可靠的加载互锁控制
皮拉尼联锁保护热丝，防止过早烧毁
高真空皮拉尼自动调节，减少操作员干预
大气压下的压差测量消除了大气压力变化引起的不确定
易于更换的传感元件与板载校准数据确保再现性
备有可选的图形显示屏和现场总线接口
RoHS 合规

典型应用

半导体过程、传输腔室和加载互锁真空室的压力测量
工业镀膜
低真空和超高真空范围内系统的一般真空测量和控制