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产品型号:BCG450
公司名称:万德泉真空-真空技术全套解决方案
所在地:广东深圳
发布时间:2013-06-06
联系人:简俊勇
产品简介
瑞士inficon BCG450 B-A皮拉尼电容膜片真空,复合规管技术 - 包含 3 个真空计的装置可以准确测量从超高真空到 1500 毫巴的工作压力和基准压力。
产品详情
INFICON 贝阿德-阿尔珀特皮拉尼电容隔片真空计 BCG450 将三大不同技术的优势融合在一个体积小、价格低的规管中,可以测量从 5×10-10 到 1500 毫巴(3.75×10-10 到 1125 托)的过程压力和基本压力。 BCG450 的设计旨在替代三个传感器(热电离、加强对流皮拉尼和真空开关),因而节省了成本和宝贵的工具空间。
益处
- BCG450 可节省成本和工具空间,降低真空测量安装与设置的复杂性
- 10 托以上的压力测量不受气体类型限制,能够对任何气体混合物提供更为可靠的加载互锁控制
- 皮拉尼联锁保护热丝,防止过早烧毁
- 高真空皮拉尼自动调节,减少操作员干预
- 大气压下的压差测量消除了大气压力变化引起的不确定
- 易于更换的传感元件与板载校准数据确保再现性
- 备有可选的图形显示屏和现场总线接口
- RoHS 合规
典型应用
- 半导体过程、传输腔室和加载互锁真空室的压力测量
- 工业镀膜
- 低真空和超高真空范围内系统的一般真空测量和控制