筛选
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项目
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描述
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垂直量程
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±50μm、±200μm两档可调
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系统分辨力
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满量程时8纳米
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显示分辨率
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0.001μm
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滤波方式
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GAUSS、2RC、ISO13565
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标准
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ISO1997、ANSI、JIS2001
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取样长度L/驱动速度Vt
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L = 0.08mm / Vt = 0.25mm/s L = 0.25mm / Vt = 0.25mm/s L = 0.8mm / Vt = 0.5mm/s L = 2.5mm / Vt = 1mm/s 返程速度均为1mm/s
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评定长度Ln
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Ln = (1~5)L
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示值误差 / 示值重复性
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10% / 6%
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测量参数
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Ra、Rp、Rv、Rt、Rz、Rq、Rsk、Rku、Rc、Rpc、Rsm、Rmr(C)、tp、Rmr、Rpm、Rz1max、RzJIS、Rmax、Htp、Rδc、RΔq、RΔa、Rk、Rpk、Rvk、Mr1、Mr2、A1、A2
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工作环境
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温度0 ~ 40℃ 湿度<90%RH
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储运环境
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温度﹣40℃~60℃ 湿度<90%RH
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外形尺寸和重量
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156 X75 X 56mm,760g
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传感器驱动套
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29 X 26 X 120mm
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