质量流量控制器 wi101160

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用途:
质量流量控制器（MFC）用于对气体的质量流量进行精密地测量和控制。广泛用于电子工艺设备、真空镀膜、石油化工、冶金、制药、光纤熔炼、分析测量仪器、制气配气等行业。
标准:
气体质量流量用氮气(N2)标定。标准状态规定为：
标准温度………………0℃（273.15K）
标准压强………………101325Pa
输入和输出:
输入电源………………+15V,50mA;-15V,200mA
输入设定电压…………0～+5.00V
输出电压检测…………0～+5.00V

技术参数：

满量程流量范围（N₂）		5SCCM～30SLM
控制范围		2～100％F.S.
阀类型（及阀初始状态）		电磁调节阀（常闭）
准确度	≤10SLM	±1％F.S.
	＞10SLM	±2％F.S.
线性	≤10SLM	±0.5～1％F.S.
	＞10SLM	±2％F.S.
重复精度		±0.2％F.S.
响应时间		≤4sec
工作温度范围		5～45℃
工作压差	≤10SLM	0.1～0.5MPa
	＞10SLM	0.1～0.3MPa
耐压		3MPa
漏气率		1×10^-9SCCSHe
密封材料		氟橡胶、聚四氟乙烯、氯丁橡胶
接头选择	VCR	1/4”或φ4hose、φ6hose
	Swagelok	1/8”、1/4”或φ3、φ6mm
电插头形式		DB15 pin(Male)
抗电磁干扰		CE
重量		0.95Kg

主要特点：

★高精度，快响应型
★橡胶密封、模拟电路的MFC
★采用DB15型电插头，国际标准机械接头
★国际兼容