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产品名称 |
2英寸高真空磁控溅射头HVMSS-SPC-2 |
产品型号 |
HVMSS-SPC-2 |
主要特点 |
1、采用高质量的不锈钢和陶瓷材料制作。 2、采用电磁场的有元计算法来设计永磁体,以得到较高的磁场强度和均匀分布。 3、磁体表面涂有保护层,以防止冷却水的腐蚀,延长其使用寿命。 4、标准的HN型接头,可与DC和RF电源相匹配。 5、安装采用标准真空接头,便于操作。 6、靶材更换较为简单,无需调整溅射头的高度。 |
技术参数 |
1、阳极护罩直径:Ø3.5" 2、所用靶材:直径2"(50.8mm),非磁性靶极限厚度1/4",磁性靶极限厚度1/16" 3、磁铁:NdFeB稀土永磁体 4、靶材利用率:30% 5、所需功率:DC极限1000W,RF极限500W 6、溅射电流:极限3A 7、溅射电压:100V-1000V 8、溅射时腔体真空度:5mtorr-100mtorr 9、溅射均匀性曲线:
10、水冷却:水管外径0.25",流速0.8GPM,进水温度<20℃ |
产品规格 |
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可选配件 |
1、循环水冷机,流量为16L/min,水箱容积为6L。 2、同时购买300W射频发射器和2"磁控溅射头时,本司赠送1个高真空快速接头。接头内径 为0.75",可将溅射头安装在真空腔体上,真空腔体上的安装孔直径为1",真空腔体的壁厚 不得大于1"。
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- 询价产品:2英寸高真空磁控溅射头HVMSS-SPC-2 HVMSS-SPC-2
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