质量流量控制器 HAD-D07-7B

质量流量控制器型号；HAD-D07-7B

HAD-D07-7B型质量流量控制器

仪器简介：

质量流量控制器（MFC）用于对气体的质量流量行精密地测量和控制。广泛用于电子艺设备、真空镀膜、石油化、冶金、制药、光纤熔炼、分析测量仪器、制气配气等行业。

术参数：

满量程流量范围（N2）	5SCCM～10SLM
控制范围	2～F.S.
阀类型（及阀初始状态）	电磁调节阀（常闭）
准确度	±1.5％F.S.
线性	±0.5～1.5％F.S.
重复精度	±0.2％F.S.
响应时间	≤7sec
作温度范围	5～45℃
作压差	0.1～0.5MPa
耐压	3MPa
漏气率	1×10-8atm.cc/sec He
密封材料	氟橡胶（或氯丁橡胶）
电插头形式	DB15 pin（Female）
接头选择	VCR 1/4”或φ4hose、φ6hose Swagelok 1/4”或φ6、φ3
重量	1.1Kg