機種
|
マスフローメータ
|
マスフローコントローラ
|
低価格品
|
汎用品
|
低価格品
|
汎用品
|
MF1121B
|
MF1111B
|
MF1171B(NC)
MF1181B(NO)
|
MF1141B(NC)
MF1151B(NO)
|
標準レンジ
|
0~5 SCCM
|
0~100 SCCM
|
0~2 SLM
|
0~10 〃
|
0~200 〃
|
0~3 〃
|
0~20 〃
|
0~300 〃
|
0~5 〃
|
0~30 〃
|
0~500 〃
|
0~10 〃
|
0~50 〃
|
0~1,000 〃
|
0~20 〃
|
|
0.1~5 SCCM
|
2~100 SCCM
|
0.04~2 SLM
|
0.2~10 〃
|
4~200 〃
|
0.06~3 〃
|
0.4~20 〃
|
6~300 〃
|
0.1~5 〃
|
0.6~30 〃
|
10~500 〃
|
0.2~10 〃
|
1.0~50 〃
|
20~1,000 〃
|
0.4~20 〃
|
|
制御範囲
|
-
|
2~100%F.S
|
精度定格
|
±2%F.S.以下
|
±1.5%F.S.以下
|
±2%F.S.以下
|
±1.5%F.S.以下
|
直線性
|
±1%F.S.以下
|
±0.7%F.S.以下
|
±1%F.S.以下
|
±0.7%F.S.以下
|
再現性
|
±0.2%F.S.以下
|
±0.2%F.S.以下
|
±0.2%F.S.以下
|
±0.2%F.S.以下
|
応答時間
|
出力電圧が設定値の±2%F.S.以内への収束時間約3秒以内
|
最高動作圧力
|
1.0MPa
|
耐圧
|
1.5MPa
|
圧力損失
|
5.0kPa
|
動作差圧
|
-
|
5SCCM~5SLM
|
: 34~275kPa
|
10~20SLM
|
: 69~275kPa
|
|
流量設定
|
-
|
0~5V DC
|
0~5V DC(標準)
1~5V DC(オプション)
|
出力信号
|
0~5V DC
|
0~5V DC(標準)
1~5V DC(オプション)
|
使用温度範囲
|
5~45℃(ガス温度も同じ)
|
取付姿勢誤差
|
±0.5%F.S.以下(取り付け姿勢は自由)
|
リーク規格
|
1.013×10-9Pa・m3/s(He)以下(標準)
|
配管接続
|
1/4 スウェージロック(標準), VCR(オプション)
|
接ガス部材質
|
SUS316,フッ素ゴム
|
SUS316,フッ素ゴム,フッ素樹脂
|
質量
|
約680g
|
約800g
|
消費電力
|
1VA以下
|
3VA以下
|