筛选
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配置: |
目镜:WF10X(标配),WF16X(选配) 平场消色差物镜:5X/10X/20X/40X/60X(标配),100X(选购) 六组物镜的工作距离分别为:8.3/8.9/8.7/3.7/0.26/0.44(mm) 总放大倍率:50X------1600X 黑白工作台及金属工作台 标配X、Y移动行程155mmX155mm(适合6英寸晶圆检查) 选配X、Y移动行程205mmX205mm(适合8英寸晶圆检查) |
主要应用领域及特点: |