-
- 地区
- 全部
-
- 会员级别
- 全部
产品名称 |
GSL-1100X-SPC-16-3等离子三靶溅射仪 |
||
产品型号 |
GSL-1100X-SPC-16-3 |
||
安装条件 |
本设备要求在海拔1000m以下,温度25℃±15℃,湿度55%Rh±10%Rh下使用。 1、水:不需要 2、电:AC220V 50Hz,必须有良好接地 3、气:设备腔室内需充注氩气(纯度99.99%以上),需自备氩气气瓶(带减压阀) 4、工作台:尺寸600mm×600mm×700mm,承重50kg以上 5、通风装置:不需要 |
||
主要特点 |
1、设有真空表、溅射电流表,可实时监控工作状态。 2、通过调节溅射电流控制器、微型真空气阀,控制真空室压强、电离电流及选择所需要的电离气体,以获得好的镀膜效果。 3、钟罩边缘橡胶密封圈采用特殊设计,可保证长期使用不出现玻璃钟罩崩边现象。 4、陶瓷密封高压电极接头比通常采用的橡胶密封更经久耐用。 5、根据电场中气体电离特性,采用大容量溅射真空室和相应面积溅射靶,使溅射镀层更均匀纯净。 6、已通过CE认证。 |
||
技术参数 |
1、靶直径:Ø45mm 2、真空室:Ø160mm×120mm 3、真空度:≤4×10-2mbar 4、靶位:3个 5、max电流:50mA 6、可设定极限时间:900s 7、微型真空气阀:连接Ø3mm软管 8、极限电压:1600V DC 9、机械泵:2L/s |
||
标准配件 |
1 |
金靶材 |
1个 |
2 |
铜靶材 |
1个 |
|
3 |
铝靶材 |
1个 |
|
4 |
进气针阀 |
1个 |
|
5 |
保险丝 |
2个 |
|
可选配件 |
金、铟、银、铂等各种靶材 |
- 询价产品:GSL-1100X-SPC-16-3等离子三靶溅射仪 GSL-1100X-SPC-16-3
- 询价数量: /个
- 联系人:
- 联系电话: