技术参数
²带有PC机控制随机微处理器的超稳定X射线发生器
²高亮玻璃和陶瓷X射线管,在线焦斑和点焦斑间快速更换
²管罩的X-Y和可旋转平台
²Göbel镜平行束光学器件
²样品空间调整的大欧拉环
²带有光学编码器的步进驱动器实现测角仪的快速高准确定位
²都可驱动的七个自由度
²X-Y-Z平动的大尺寸可驱动样品腔,X、Y达150mm,Z达25mm,以适合200mm晶片或其他类型的样品
²Cr、Fe、Co、Cu和Mo辐射的二次单色器
²花岗石台的高机械稳定性的测角仪
²氙气填充的正比、闪烁计数器,固态、线性和弯曲位敏探测器,用于低背景或高强度探测
²微软Windows NT/2000/xp操作系统用于仪器控制,数据收集和加工
主要特点
主要特点:
1 配备了最先进的数字电路,计算机和微软Windows NT/2000/ME操作统。 由完美设计的步进驱动器和光学编码器的组合来保证测角仪环精确的角度定位。测角仪环可在高速下定位。
2操作安全:安全接触自锁系统,只要安全罩关闭,决不允许X射线泄漏。用透明的PVC防止散射的辐射光。
3可用于广角范围的问题分析,从织构到薄膜分析,应力测试和反射。
4可进行高分辨反射研究,测定层厚度、密度、表面和接触面的粗糙度。
5七个独立运动的自由度允许样品任意定位。
6不同类型的光源和光学组件、多种探测器和特别的附件可达到您的所有测试要求。具有大量的、安装简便的组件可选。若需要我们仪器系统、附件和客户定制附件的更多信息,请直接与我们联系。
7软件功能强大,使用简便。