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技术参数
技术指标
分辨率:0.2nm (晶格像)
加速电压:40kV ~ 120kV
放大倍率:
连续放大模式:x200~x600,000
低倍模式:x50 ~ x1,000
图像旋转:
倍率范围:x1,000 ~ x40,000
旋转角度:±90º (15º每步)
数字相机:1,024 x 1,024象素
样品台:测插式优中心测角台
样品台移动:X/Y:±1mm Z:±0.3mm
倾斜角度:±20º(±60º可选)
功能:图像导航功能和样品位置记忆功能
主要特点
1.使用日立独有的双狭缝物镜,可以得到独有的低倍大视野、高对比度成像的特点
2.标配有高灵敏度CCD相机,具有低剂量电子束成像的功能。CCD相机的灵敏度约比通常的光学相机高40倍。
3.CCD相机与显微镜是一个完整的整体,这样可以有友好的操作环境。
4.具有更多的自动化功能,如自动聚焦、自动消像散、自动拍照等
5.标准就具有图像数据库功能,测长、图像过滤功能等
6.具有较强的扩展功能,如三维重构等。