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技术参数
技术指标:
二次电子分辨率 3.0nm (25kV,高真空模式)
VP可变压力模式分辨率 4.0nm (25kV,可变压力模式)
放大倍数范围 5x~300,000x(65阶)
加速电压 0.3kV~30Kv
可变压力范围 1~270Pa
最大样品尺寸 150mm直径
图像移动范围 ±20µm(WD=15mm)
样品台(选项)
(1) 超优中心样品台
X: 32mm Y: 32mm Z: 5~35mm
R: 360° T: -90°~+90°
自动样品台: 无
(2) 80x40平动式样品台
X: 80mm Y: 10mm Z: 5~35mm
R: 360° T: -20°~+90°
图形移动自动样品台
软件:可选
(3)大型优中心样品台
X: 100mm Y: 50mm Z: 5~40mm
R: 360°T: -0°~+60°
图形移动自动样品台
软件:可选
(4)冷却样品台-20
X: 15mm Y: 15mm Z: 15~35mm
R: 无T: -45°~+45°
自动样品台: 无
电子枪: U型钨丝
枪偏压
可加速电压关联
可变电压(双偏压功能)
检测器
SE检测器
BSE检测器,可变压力模式
EDX位置 W.D.=15mm, 出入角=35°
操作语言 英语(日语)
计算机操作系统 PC兼容,Windows NT
SEM操作 鼠标、键盘旋钮控制盘(选件)
扫描方式 TV,慢速(4步),照相(4步),分开
显示器 大屏幕 XGA彩色显示器(1024 x 768像素)
自动调节功能
自动聚焦,自动像散校正
自动亮度和对比度调节
自动灯丝饱和度调节
数字图像储存 640 x 480像素,1280 x 960像素
图像格式 BMP
图像数据条显示
加速电压,放大倍数,
微米标尺,WD(工作距离),照片放大倍数
真空度水平,检测器,日期,文件号等
真空系统
全自动,DP 570L/Sec,
RP 160L/min x 2 (S-3000N)
RP 160L/min x 1 (S-3000H)
系统保护 断电、失真空和缺水保护
主要特点
S-3000N和S-3000H的标准功能
1. Windows NT界面。
2. 独特的双偏台功能,即使在低电压也有不错的性能。
3. 和普通PC类似的用户友好操作环境。
4. 交互式显示器显示和鼠标操作。
5. 旋钮和鼠标控制都可以用于SEM参数设置。
- 询价产品:Hitachi(日立)S-3000N扫描电子显微镜 S-3000N
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