BSD-1标准粒子发生装置
气体尘埃粒子计数器的校正程序
一． 校正所需设备
1． 100级洁净房或洁净台
2． 一台用于作对比，尚在校正期内的尘埃粒子计数器，如Metone3400
3． 各粒径的标准粒子，如0.3um ; 0.5um ; 1um 等等
4． 标准粒子气体产生器，如Model 255
5． 可产生脱离水（DI水）的纯水系统或类似装置
6． 其它普通电器，如220V电源插座，万用表等等
二． 校正的基本原理
　　 标准粒子（如0.301um）通过255粒子产生器由液状雾化成气体，并由其内置泵通过0.2um的过滤器后的干燥气体进入取样管路，这时，将两台相同尘埃粒子计数器同时或先后对取样管进行抽样测试，并比校0.3um粒径的测试值。如果其平均值在20%以内，认为合格。如果不同型号的粒子计数器，一定要弄清楚其流速，取样时间，取样次数等参数，并且，还要明白怎样理解其测试结果。
三. 校正的基本步骤：
　　 现假设对一台常见的Metone227B作校正
1． 首先，要清楚Metone3413和Metone227B有何差别，其测试原理一样，但Metone3413流速为1CFM（立方英尺/分钟），而Metone227B则为0.1CFM。
2． 首先，请将洁净台开机，工作半小时，其间内也打开Metone227B和Metone3413，让其预热半小时。
3． 准备好255的取样器管，并搭接好其所有气体管路。
4． 将配好的标准液（如0.301um）放入脱原子瓶中，注意勿让液体超过喷嘴。
5． 设置Metone3413和Metone227B的基本参数
（1） 取样时间都设置为00：01：00
（2） 取样次数都设置03
（3） 取样模式都设置为Auto
（4） 间隔时间都设置为00：00：05
（5） 读数模式都设置为Cumulative
　　 注：以上设置相同，因其流速有10倍差，故Metone3413测试结果会是Metone227B的10倍。
6． 此时，打开255电源，调节脱原子气体阀和干燥气体阀，在调至喷嘴阀处呈气雾出现，干燥气体流速计约60SCFH时后，保持其工作状态。
7． 此时，让Metone227B和Metone3413同时工作，看其三次的平均结果，若在20%以内，视为合格。
8． 拆下脱原子瓶，重新滴入其它标准粒子，重复该测试。
9． 以上校正只是对比校正，尚可用万用表对其基本参数测量，用示波器对其信号捕捉等来辅助调校。