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XP-703D半导体气体检测仪特点:
最适合于检测半导体特气的微量泄漏。
采用声光报警。
规格
型 号
XP-703D
检测对象气体
材料气体(胂、膦、乙硼烷、硅烷、氢气等)
检测原理:热线型半导体式
采样方式 :自动吸引式
可检测浓度 :单位: ppm)砷烷 磷烷 乙硼烷 硅烷 氢气 ,AsH 3 PH 3 B 2 H 6 SiH 4 H 2 ,0.2 0.3 0.1 0.5 1.0
检测表示:蜂鸣器断续鸣响及指示灯闪烁
应答速度 :10 秒以内