高速非接触双测头三维微观轮廓形貌扫描测量；
测量范围: X =100mm, Y =100mm, Z=100mm；
分辨率: X : 0.5µm, Y : 0.5µm；
三维表面形貌测量(激光三角波传感器)；
垂直量程Z : 10mm, 分辨率: 1µm；
三维粗糙度测量(白光共焦法光学传感器)；
垂直量程Z : 300µm, 分辨率: 0.01µm；
高速非接触双测头三维微观轮廓形貌扫描测量；
测量范围: X =100mm, Y =100mm, Z=100mm；
分辨率: X : 0.5µm, Y : 0.5µm；
三维表面形貌测量(激光三角波传感器)；
垂直量程Z : 10mm, 分辨率: 1µm；
三维粗糙度测量(白光共焦法光学传感器)；
垂直量程Z : 300µm, 分辨率: 0.01µm；