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产品系列及特性 输入压力 输出压力 允许内泄露 流量范围 阀体材料 64-2800 单级压力、超高纯度,固定隔板 |
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·固定隔板设计 |
3500,1000
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30,60,100,
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<1×10-9
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0-100SLPM | 316L不锈钢 |
·5Ra或10Ra微英寸抛光 |
PSIG
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150PSIG
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或316L不锈 | |
·可供Hastelloy镍合金部件 |
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钢VAR | |
·Cv=.06(最大入口压力3500PSIG) |
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·Cv=.15(最大入口压力1000PSIG) |