筛选
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产品系列及特性 输入压力 输出压力 允许内泄露 流量系数 阀体材料 64-5000 单级压力、超高纯度、绝对压力 |
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·负压至正压
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3500,600,
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28"Hg-15,30,
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<1×10-9
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0-5SLPM | |||
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·5Ra或10Ra微英寸抛光 |
120PSIG
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60,100PSIG
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316L不锈钢 或316L不锈 |
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·Cv=.06(最大入口压力3500PSIG) |
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钢VAR | ||||
·Cv=.15(最大入口压力600PSIG) |
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·Cv=.24(最大入口压力120PSIG |