椭圆偏振法测量已在光学、半导体、生物、医学等诸多领域得到广泛的应用。因为它具有灵敏度高、精度高、非破坏性测量等优点。

椭圆偏振测厚仪特点：
 ·仪器采用消光法自动测量薄膜厚度和折射率，具有精度高、灵敏度高以及方便测量等特点；
 ·光源采用氦氖激光器，功率稳定波长精度高；
 ·仪器配有生成表、查表以及精确计算等软件，方便用户使用。

椭圆偏振测厚仪主要技术指标：
测量范围
薄膜厚度范围：1nm-300nm；折射率范围：1.05-2.50
测量最小值：≤1nm
入射光波长：632.8nm
光学中心高：80mm
允许样品尺寸：φ10-φ140mm，厚度≤18mm
偏振器方位角范围：0°- 180°读取分辨率为0.05°
外形尺寸：680*390*320mm
测量膜厚和折射率重复性精度分别为：±0.5nm和±0.005
主机重量：25kg
入射角连续调节范围：30°- 90°精度为0.05°