高精度显微检测平台是基于机器视觉技术对微小尺度测量及检测的高精度平台,平台可根据测量需要选择配置不同规格的相机和光学成像系统,测量尺度范围较大,测量精度指标非常优异。配置背光平台后,系统可同时对物件的表面和轮廓进行测量和检测,是一套通用性非常强的微尺度精密测量平台。
硬件配置:面阵CCD相机、放大镜头、同轴光或平板背光源、图像采集卡等。
尺寸检测精度0.01mm,检测工件速度1~10件/1s,,检测工件大小0.01mm~20mm。
是在此平台上利用400倍放大镜头完成的微型齿轮齿形齿廓检测。利用放大1000倍镜头打印机对磁头的间距、平行度进行测量的案例。