结构：硅单晶棒射线定向仪有X射线控制器、测角仪、记录仪、电磁光闸、微机控制、键盘、输入信息、屏幕菜单显示、数据打印、角度显示、峰值强度表等组成。
计算软件采用国际通常算法，以度为单位，显示最小精度0.001度，测量精度±0.008度（±30′），能够测量直径3～8英寸，长450㎜，测量晶面为111、100等。
型号： YX-5D 为双测角仪，一边定向计算，一边测片（8英寸）。
YX-5DA为单测角仪，定向计算。
硅单晶棒射线定向仪主要指标：项目名称              参数
                  晶棒直径            3～8英寸
                   晶棒长度              450㎜
                  测量晶面             111、100
                  定向精度         0.008度（±30′）
                   最小读数             0.001度
                 射线窗口          电磁脚踏光闸
                 计算角度         α与β（X与Y）