美国埃米级电涡流位移传感器

SMU9000埃米级电涡流位移传感器基于独特的脉冲宽度调制器，融合了最新的表面安装组件和PCB设计。满足OEM对性价比的要求，并且能兼顾线性精度和热稳定性。并可根据客户需求定制。
特点：

超高分辨率，1埃

信噪音比：1PPM

精确度0.1%，通过计算机校准

小尺寸，易于集成；2通道小于5.5立方英寸

多种配置：9000单通道，9200双或平衡差分操作，3和4通道模型。

丰富的传感器选件

低功耗：<40mW/通道

主要指标：

使用于被测材料为铝、铜等导电材料。SMU9000 单双通道；SMU9200 为3～4通道

－分辨率1诶

－信号噪声比小于0.1%

－量程：0～0.88mm/ 0～12mm

－线性可优化到0.1%

－频响：0～10KHZ
 
典型应用：

光学平台位置测量

半导体和光器件的研磨

半导体模板对齐系统

蒸镀系统

电子显微镜垂直轴定位

原子显微镜垂直轴定位

磁悬浮轴控制

部件研磨加工的精确定位

镜片控制

物质收缩测试测量

机械结构变形探测与测试

应用举例：

半导体圆晶片和模板（刻线）检测（凯盟的系统提供位置反馈信号将晶片或模板带入初始焦点，光学系统随后进行最终的聚焦。）

读写头制造，研磨板定位（通过3个双通道单端系统，监控读写头相对研磨板的位置）

飞机制造：动态铆钉高度检测

高精度3通道照相平台位置测量

高精度照相平板台高度位置测量

欲了解更多关于产品的信息，请访问真尚有公司网站 www.51sensors.com