技术规格：

测量规范：0.1-0.006

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（相当于测量表面不平度深度范围为0.1-0.03um）

工作距离：0.5mm

仪器的视场：目视 ф0.25mm

照相 0.21×0.15mm

仪器的放大倍数：目视500倍   照相168倍

测微目镜放大倍数：12.5倍

测微分度值：0.01mm

绿色干涉滤色片波长  λ≈530nm

半宽度  λ≈10nm


干涉显微镜用途：本仪器是用来测量加工零件（平面、圆柱等外表面）粗糙度的仪器，也可以用来测量零件表面刻线镀层等深度。配上TV系统，使观察更加清晰直观。