技术规格：

测量范围：12.5-0.2

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（相当不平度≈0.8-80um）

不平宽度：用测微目镜    0.7um-2.5mm

          用坐标工作台  0.01-13mm

坐标工作台：X：13mm  Y：13mm

最小分度值  0.01mm

总放大倍数：60X 120X 260X 510X

摄影装置放大倍数：≈6X

光切法显微镜用途：本仪器是以光切法测量零件加工表面的微观不平度，其能判别12.5-0.2级表面粗糙度，不破坏工件表面，测出截面轮廊的微观的不平深度和沟槽宽度的实际尺寸。配上TV系统，使观察更加清晰直观。