显著特点：

紧凑－易于和真空系统集成

高灵敏度和高检测极限

视察软件，功能齐全

64种常用气体谱图

专门的残余气体分析模块，分压检测

双灯丝

双路模拟输入和四路模拟输出信号

双路数字输出信号，可外控启动

快速放大，高动态范围，自动切换量程

峰位稳定，自动校准电子学零漂

耐烘烤温度最高到300℃，90度转角空间节省型可选

广泛适用于研发，高能物理，环境，清洁度检测。
应用领域：
真空残余气体分析 超高真空残余气体分析 溅射过程气体分析 蒸发材料气体分析 
等离子体过程气体分析 在线气体分析 微量夹杂气体分析 呼吸气体分析 
充气气体成分分析 同位素分析 光学镜片清洁度检测 电子显微镜水分检测
半导体基片清洁度检测