Hitachi（日立）冷场发射电子显微镜 S-4800

特点：

1. 新型物镜采用专利的ExB设计。使用单检测器和超级ExB可以分别收集和分离单纯二次电子、混合二次电子及背散射电子的信号。
2. 1KV低加速电压时保证有2.0nm的分辨率。
3. 两种样品台可选：Ⅰ型50mm×50mm小样品台或Ⅱ型110mm×110mm大样品台，采用图形界面软件用计算机控制，5轴驱动。
4. 包括涡轮分子泵在内的先进的真空系统。
5. 根据用户的意见而设计新的图形用户界面使得S-4800成为现今最先进、用户友好的扫描电子显微镜。

技术指标：

二次电子分辨率
背散射电子分辨率
电子光学：
电子枪
加速电压
放大倍率
物镜光阑
检测器

样品台

1.0nm (15 kV);2.0 nm (1 kV)
3.0nm (15kV)

冷场发射电子源
0.5~30kV(0.1KV/步，可变)
×30~ ×800,000
4孔，真空外选择和调校（内置加热器）
二次电子检测器 (高位/低位)
背散射电子检测器（可选）
EDX（可选）
透射电子检测器（可选）
法拉第杯（可选）
阴极荧光检测器（可选）
Ⅰ型:
X: 0~50mm Y: 0~50mm
Z:1.5~30mm T: -5~+70°R:360° 驱动:手动(可选3轴驱动)
Ⅱ型:
X: 0 ~110 mm Y: 0 ~110mm
Z: 1.5 ~40 mm T: -5 ~+70 °
R: 360°驱动:PC机控制5轴驱动

图像显示
操作/显示

扫描模式

画面储存

图像编辑
图像文件格式
扫描速度

成像过程

自动数据记录
电子图像移动
真空系统

HITACHI
PC/AT 兼容,
操作系统： WindowsTM 2000
18.1" 平面显示器
标准，Split/dual mag./line scan, position set, spot, AAF, SAA, oblique
640 × 480, 1,280 × 960,
2,560×1,920,5,120×3,840
内置图像处理软件和图像编辑软件
BMP, TIFF, JPEG
TV, 慢速 (0.5 ~ 40 s/帧) 用于观察
慢速 (40 ~ 320 s/帧) 用于记录
自动调节亮度和对比度
光栅旋转，自动聚焦，自动象散校正,平均，帧积分，伪彩色显示
胶卷号，加速电压，微米标尺，放大倍率，日期，时间，工作距离
±12 μ( W.D. = 8 mm)
完全气阀自动调节
离子泵 3 台
TMP 1 台
RP 1 台