Mass Flow Calibration System

领先一代的

   molbloc/molbox，以其极高的精度和直接向国家基准溯源的能力，满足了社会对高水平质量流量校准系统的需要。该校准系统检定速度快 ，使用方便且小巧紧凑。

   molbloc/molbox可提供0.2%的读数精度或0.02%FS的满量程精度,如果系统地采用molbox1的调零功能,其精度甚至可以达到0.01%FS。molbloc/molblox校准系统具有实时数据处理功能，整个系统安装于一个可移动的桌面系统上。

molbloc/molbox 质量流量校准系统以其优越的计量性能，诸多的功能，先进的PC校准支持软件和气体处理附件，使它成为检定及`校准质量流量控制器及质量流量计的理想检定系统，同时molbloc/molbox也是高精度测量的首选仪器。

   自1993年问世以来，molbloc/molbox作为一个先进的，很快在各个领域得到广泛的应用。如：半导体工业，光纤光学，制药，环境监测，能源，仪器制造业，研究单位及计量的潜力，一个基于重量测量的质量流量机构等等。

 新理论与新技术，新工艺完美结合造就出高性能的仪器

    molbloc的设计是建立在层流理论和气体热力学特性基础上的。通过采用先进的测量手段，合理的数学模型，以及数据处理与加工工艺，DH公司设计完成了高稳定，高精度的层流元件，并得到美国及国际专利保护。正是由于这一切，使我们能够更好地定义流量元件的几何形状，更精确地了解气体温度及压力，最大限度地减少流量对上下游流态的依赖。使molbloc达到前所未有的高精度与高稳定性。

   molbloc采用了与可比美的压力传感器和自校准铂电阻温度计电路。大容量存储器存储着所有支持的气体的热力学数据。微处理器高速读取压力与温度并计算出质量流量。

 优秀的质量流量传递标准

   质量流量是基本单位—质量和时间的导出单位。

       传统的质量流量标准都是一个计算系统，由体积流量经计算，间接得倒质量流量。象  molbloc 一样它们依赖于气体压力温度的测量以及气体的热力学特性。   

    测量重量的质量流量校准技术是唯一一种直接从质量和时间导出质量流量的技术。由于这种系统使用非常复杂，并且很费时间，而且没有高精度，高稳定的传递标准向下传递其量值，因此到目前为止,这种方法还没有得到广泛的应用。

    molbloc/molbox的问世改变了这一切，该系统具有极高的精密度和稳定性。它不仅解决了长期以来基准没有合适的传递标准向下量传的问题，同时也使日常大量的高精度质量流量仪表的检定成为可能。为了充分发挥molbloc的潜力，一个基于重量测量的质量流量校准体系已经建立，这使molbloc/molbox质量流量校准体系成为新的流量标准。

          molbloc/molbox体系的构成

   一个molbloc/molbox质量流量校准系统包括：一台molblox，一个或多个molbloc元件以及附(根据需要确定）。molbox1是整个质量流量校准系统的核心。molbloc 通过压力管路和电缆线与  molbox1相连接。

  molbox1™

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   标志号：molbox1

    用途/简介：molbox1是质量流量元件molbloc的支持单元。molbox1内装两个高精度

绝压传感器，用以测量molbloc下游压力。压力传感器可自动切换到不同的molbloc上，以便molbox1  支持多个molbloc。molbox1还可自动调零并对系统进行检漏。内置 4 套铂电阻温度计测量电路，用以测量两套molbloc气体温度。molbox1内有两个标准电阻，可对铂电阻温度计电路进行自动校准。molbox1支持RS-232和IEEE-488通讯，并可设置和读取多种质量流量控制器。

  . 定货说明：一台molbox1；四条管路；两条15芯通讯 线；一套用户手册和校准证书。

  molblocs™

   标志号：200sccm-VCR-V-Q

           1      2  3 4

   1：标称量程2：流量接头（分VCR，VCO，SWG ）

3：Viton™ O形圈    4：压力接头（分快速接头-Q和  Swagelok-S两种）

   用途/简介：molbloc是流量元件，用于测量流过它的气体质量流量。它通过两条测压管路和一条数据通讯电缆与molbox1相连。用户可根据自己的流量测量需要，选择一个或多个molbloc。一个molbox可支持两个molbloc，使它们同时工作或分别工作。

定货说明：一个molbloc质量流量元件及安装用的O形圈，校准证书。

molstics™

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标志号：molsticXXXXX（XXXXX代表：型号/应用）

   用途/简介：molbloc的安装与固定质量，对高精度质量流量测量会有较大影响，为了方便molbloc  的 安装，专门设计了molstics，用于为molbloc提供高质量的安装效果。molstic除了用于安装molbloc外，其上还包括了流量测量与校准所需要的所有接头与阀门。

定货指南：

molstic， 单通，中/高       P/N：401244    量程>200sccm(适应大/小molbloc)

molstic,   单通,低           P/N:  401316    量程<200sccm(只适应小molbloc)

molstic,   双通,中/高        P/N:  401317    量程>200sccm(适应大/小molbloc)

                                           需要另购P/N401324连接

molstic,   双通,低            P/N: 401318    量程<200sccm(只适应小molbloc)

T型,molstic,大/小            P/N: 401324     需要另购P/N401317

molstic,  低流量阀套件        P/N: 401319    低molstic手动计量阀

molstic   中/高流量阀套件     P/N: 401320    中/高molstic手动流量计量阀

适配器,   4VCR*8VCRF          P/N: 102589    1/4”VCR M * 1/2”VCR F

*molbloc>=10slm称大molbloc  molbloc<=5slm称小molbloc

*molstic只连接到1/4”VCR molbloc

Compass molbox校准支持软件

标志号：compass，molbox，win

    用途/简介：COMPASS MOLBOX校准支持软件是基于PC机的应用软件。molbloc/molbox质量流量校准系统通过RS-232或IEEE──488接口与计算机连接起来，并采用此软件，既可形成全自动质量流量校准系统，对质量流量计和质量流量控制器进行全自动检定和校准。COMPASS MOLBOX校准支持软件按照WINDOWS协议组织测试结果文件，设置菜单，格式化测试数据，进行数据编辑和绘制图线。COMPASS MOLBOX应用软件能够全自动完成流量控制器和流量计的检定与校准，并把数据以文件形式存储，还可打印校准曲线及检定证书。

molbloc™ /molbox™ 质量流量校准系统

流量测量技术指标

  量程：0---2000slm（标准状态 升/分钟）

  校准气体：Air，Ar，Co，He，N2O2

Co2，CF4，C2H6，C2H4，CHF3，     C2F6，

  H2，CH4， N2O，C3H8，SF6

  精度：0.2%RDG  / 0.02%FS

  重复性:0.05%RDG /0.005%FS

  线性:<0.1%RDG/<0.01%FS

  年稳定性:<=0.1%RDG /<=0.01%FS

molbox1

  电源:86—264VAC,47--440HZ,<=40VA

  外形:32*12*30(W*H*L)

  重量:6.8KG

温度:工作温度:0—40  存储温度:-25—85

  通讯:com1(RS232):主通讯口, 9针DSUB(阴),

       com2(RS232):远程设备通讯9针DSUB(阳)

  RS485:数字质量流量控制器通讯口,

  IEEE-488:主通讯口(选件)

mobloc连接插座:

   双路(通道A/B)15针DSUB9阴)金属屏蔽接头.

微处理器:     MOTOROLA MC68302, 16MHZ

压力传感器:   两个振荡时英晶体压力传感器

测量温度:

    量程:0—40

    精度:+/-0.05

    分辨率:0.01

    molbox1内含一个别00欧和一个别10欧的标准

    电阻,可自动校准其电阻测量系统.

    稳定性:25ppm/年

MFC控制选择

连接接头:

模拟MFC:25针DSUB(阴)金属屏蔽插座

     阀门驱动器:12针阴插座

     MFC转换盒:5针阴插座

     远程多用表接口:3针阴插座

     为MFC提供电压:+/-15VDC:+/-2%

模拟输出:

     MFC电压设定:

     量程:0—6VDC,100mA

     精度:+/-0.1%FS

     分辨率:0.1mVDC

     短路保护:有

     输出阻抗:100欧

MFC电流设定:

     量程:4—20mA

     精度:+/-0.1%FS

     分辨率:0.4uA

     最大负载:500欧

     短路保护:有

模拟输入:

MFC电压信号输出:

         量程:0—6VDC

         最小范围:-0.25VDC

         最大范围:6.000VDC

         精度:+/-0.05%FS

         分辨率:1mVDC

         最小输入阻抗:1G欧

         自动校准:5VDC参考电压

MFC电流信号输出:

         量程:4—20mA

         精度:+/-0.05%FS

         分辨率:4uA

         输入阻抗:250欧

         自动校准:5VDC参考电压

阀门测试点:

          量程:2—15V

          精度:+/-0.25%FS

          分辨率:2.5mVDC

          输入阻抗:100K欧

          自动校准:10VDC参考电压