主动型防震平台 MATIS系列

可以除去被动除振所难以除去的频带域上的振动

空气弹簧支撑可以发挥高频领域的安定除振性能

容易组装到器械装置里的小型超薄单元体/抑制共振的高刚度框架

MATIS是发挥精密器械性能的不可缺少的组成部分之一
至今，大多客户是由于担心振动而使用除振装置。可是随着精密器械的高精度化，高功能化和大型化的进展，若不使用除振装置来消除振动的影响，精密器械就不能按照产品说明书上写的那样正常地发挥性能。在纳米可视化的电子显微镜（STM，AFM）领域，能动除振装置已经成为不可缺少组成部分。与乘载装置结合起来调试可以实现最佳的除振性能。