ASF 1400
特点
总质量流量计分
数据最高达200HZ
动态范围：0.01scm-400scm
精度高、分辨率高
经过标定和温度补偿
RS-232和SPI数字接口

技术参数
精度：0-5%FS（23°C）
动态范围：-400 –400 Sccm(直接测量条件下)
         -100 –400 Sccm Liter/min（含有旁路管的条件下测量值）
         无限制（在传统旁路管的条件下）
        分辨率：0.1 Sccm（当流速是400sccm /640ms时）
        0.0143（1/70）Sccm（当流速是10sccm /640ms时）
        最小感知流量：标准值为0.0143（1/70）Sccm；最大值为0.003 Sccm
        压力损耗：120Pa
        重复性：0.0025%FS，0.025%m.v