OLYMPUS 自动化半导体检查显微镜MX80技术规格
MX80 目镜/物镜:
UIS 目镜 F.N.26.5
UIS 物镜 物镜适配器，配合明视野物镜

MX80 显微镜镜体:
兼容镜体 适用于200/300mm晶圆观测，一个RS232C外部通讯接口。
电动对焦部件：
●垂直行程25mm；Z轴向分辨率50nm(带50倍或更高放大倍率的物镜)
●各物镜可进行对焦调节；高度限制；载物台降低(返回可设定)

MX80 反光照明：
●照明(一体化)系统：
电动选择观测系统(4组分光镜选择，用于明视野法、暗视野法、偏振光和荧光照射观测)
●自动聚焦(一体化)系统：
激光主动法。波长：λ=780nm，CDRH 1级兼容。