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OLYMPUS自动晶圆搬送机/半导体检查显微镜AL110

价格： 面议

产品型号：AL110/MX61

品牌：0

公司名称：大迈仪器（上海）有限公司

所在地：上海闸北

发布时间：2013-09-05

联系人：吴卫平

联系电话：021-63549265 021-63546839 021-63534548

大迈仪器（上海）有限公司

产品简介

OLYMPUS自动晶圆搬送机/半导体检查显微镜AL110 ● 用于100mm/125mm/150mm晶圆传送及检查(ALL110-6)● 用于200mm晶圆传送及检查,200/150mm晶圆交替检查可能(AL110-8)● 非接触式对中方式,洁净度提高,减少晶圆污染的可能性 OLYMPUS自动晶圆搬送机/半导体检查显微镜AL110

产品详情

OLYMPUS自动晶圆搬送机/半导体检查显微镜AL110 OLYMPUS AL110规格：

型号 200mm型 200/150mm 兼容型 100/125/150mm 兼容型 项目 L LM LB MB LMB L LM LB MB LMB L LM LMB 晶圆直径 200晶圆边 200mm切口 √ √   150mm晶圆平边   √   100/125/150mm 晶圆平边     √ 观察方式 连续和采样 √ 转换方式 正面宏观检测 √ √ √   √ √ √ √   √ √ √ √ 背面宏观检测   √   √ √   √   √ √   √ √ 2次背面检测     √ √ √     √ √ √     √ 表面显微观测     √ √ √     √ √ √     √ 适用显微镜 MX61/MX61L型 √ 规格(mm) 580(W)*580(D)*297(H) 490(W)*520(D)*297(H) 重量(kg) 30 32 31 31 33 30 32 31 31 33 26 28 30 能耗 电源：AC100-120V0.90A,或AC220-240V0.55A 50/60Hz.真空压力：-67kPa～-80kPa

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