AIS2100扫描电镜技术规格
电子光学系统
分辨率 ≤3.5nm
放大倍数
10-300,000X
图像
二次电子图像SEI
背散射电子图像(可选)
电子束扫描模式 搜索,观察,照相(3步)
加速电压
0.5KV-30KV
真空系统
真空控制类型
完全自动/手动
粗真空
旋转机械泵
高真空
旋转机械泵+扩散泵
旋转机械泵+涡轮分子泵(可选)
控制系统
计算机系统 P4处理器
内存
256MB
操作系统 控制数据界面
可选部件
可选BSE(背散射电子图像探测器)
可选能谱仪EDS
用户定制载物台系统
安装环境
温度:
22℃±2℃
湿度:
70%以下
电源功率:
单相220~240V交流电,5KW,60HZ或50HZ