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产品型号：RTA-98/98#型
公司名称：弘埔技术(香港) 有限公司
所在地：香港香港
发布时间：2012-04-16
弘埔技术(香港) 有限公司
产品简介
红外线灯管加热装置 是试样放置在碳素susceptor Si导线上，红外线灯管对试样正反面进行加热。碳素susceptor内装有5对热电偶来调整加热区的功率平衡，让加热室得到温度分布的均一性。
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联系人：弘埔技术(香港)有限公司 上海代表处
红外线灯管加热装置 RTA-98/98#型
适用于半体基板的急速高温加退火
红外线灯管加热装置 是试样放置在碳素susceptor Si导线上，红外线灯管对试样正反面进行加热。碳素susceptor内装有5对热电偶来调整加热区的功率平衡，让加热室得到温度分布的均一性。
●装置的构成
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1 |
本体系统架台 |
1台 |
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2 |
红外线加热炉 (Pss98/98#) |
1台 |
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3 |
加热，冷却室 |
1台 |
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4 |
程序温度控制器 |
1台 |
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5 |
真空排气系统 |
1台 |
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6 |
气体触摸屏/PLC回路 |
1台 |
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7 |
压力控制系统 |
1台 |
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8 |
本体架台/配电盘 |
1台 |
●技术指标
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温度范围 |
50～700℃ Max 1000℃ |
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试样尺寸 |
约50mm×50mm硅片4张/连续处理 (2行2列放置) |
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气氛 |
流动氮气，不活性流动气体 |
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加热方式 |
上下面具有抛物面红外线加热 |
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热处理区 |
约200mmW×200mmD |
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加热速度 |
RT～700℃/min |
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炙热区 |
113mmW×102mmD |
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炙热精度 |
±5℃ (at300℃～700℃) |
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压力控热电偶制范围 |
1Pa～50Pa (选择部件：压力控制系统) |
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热电偶 |
JIS K |
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susceptor |
碳素susceptorSi导线(约133mmW×120mmD×4mmt) |
- 询价产品：红外线灯管加热装置 RTA-98/98#型
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