台式红外线灯管加热炉MILA-5000系列

       温度升温速度快，精度高

随着半导体制造工艺朝着高密度，高集成方向的迅速发展，科技研发人员将对RTP(RapidThermalProcessing)的加热技术更加关注。MILA-5000系列红外线加热炉具有快速加热和快速冷却的功能，无环境污染等特长，并同高精的温度控制器组合为一体。具有价格低，体积小，性能高等特点。对于记忆材料和强导电体相关的RTP研究工作，MILA-5000红外线加热炉将提供更广泛的测量领域。

●用途

强诱导体薄膜的结晶化退火
注入离子后的扩散退火
半导体材料的烧成与退火条件研究
玻璃基板的均热退火
热循环试验与热冲击试验
升温脱离试验与触媒试验

●特长

50/sec的快速加温
式样在保护管内加热，所以气氛可选择真空，各种气体，流动气体
式样温度与程序设定温度同时显示，可完成精密的温度控制

●技术指标