:::: 简 介: ::::::::::::::::::::::::::::::::::::: X-Strata960测厚仪基于25年涂镀层测量经验,在CMI900系列测厚仪的坚实基础上,引进全新的设计:
新100瓦X射线管 - 市场上所能提供的最强大的X射线管。提高30%测量精度,同时减少50%测量时间
更小的X射线光斑尺寸 -新增15mil直径准直器,可测量电子器件上更小的部位。提供改进的CCD摄像头及缩放装置,同时提供更高精度的Y轴控制。
距离独立测量(DIM) -更灵活地特殊形状样品,可在DIM范围内12.5-90mm(0.5-3.5inch)对样品表面进行测量,Z轴可控制范围为230mm(9inch)。可通过手动调整也可以通过自动镭射聚焦来实现对样品的精确对准。
自动镭射聚焦 -自动寻找振决的聚焦距离,改善DIM的聚焦过程并提高系统测量再现性。也可选择标准的镭射聚焦模式。
全新的大型测厚仪样品室 - 更大的开槽式测厚仪样品室(580x510x230mm :23x20x9inch),开槽式设计可容纳超大尺寸的样品。可从各个方向简便的装载和观察样品。
3种测厚仪样品台选项 -XY程控控制(200x200mm或8x8inch移动范围)/XY手动控制(250x250mm或10x10英寸)/固定样品台;标准配置Z轴程控控制(230mm或9inch移动范围)。
测厚仪内置PC用户界面
:::: 主要技术参数: ::::::::::::::::::::::::::::::
主要规格 | 规格描述 | X射线激发和检测 | 牛津仪器制造的100瓦(50kV-2.0mA)微焦点钨靶X射线管 | 高分辨封气(Xe)正比计数器可获取最高的计数灵敏度,配合二次滤光器机构实现最佳的检出效果 | 数字脉冲处理 | 4096通道数字多道分析器,数字光谱处理过程可获取最高的信号采集(每秒计数量),从而保证最好的测量统计结果 | 手动或自动透镜控制 | 手动透镜控制:通过手动调整DIM旋钮控制分析聚焦距离 | 自动透镜控制:激光束自动寻找DIM系统的最佳分析聚焦距离 | 自由距离测定 | 简化系统设置和维护 | 在聚焦距离范围内仅需要一个校正 | 对不规则样品更灵活的测量 | 在12.7mm-88.9mm的自由距离内,可准确测量样品表面的任何一点 | 通过DIM旋钮或使用自动激光聚焦功能,可快速、准确的确定聚焦距离 |
附带自动透镜功能的自动激光聚焦 | 独特的、自动样品摆放系统 | 激光扫描单键启动 | 消除样品碰击Z轴的机会 | 改善DIM的聚焦过程 | 标准激光聚焦 | 标准激光聚焦功能在所要求的聚焦聚焦上,自动寻找正确的Z轴位置,提高分析再现性,结果不受人为操作的影响 | Z轴聚焦扫描单键启动 | 改善DIM和常规固定焦距测量时的聚焦过程 | 微小准直器 | 仪器至少装备一个客户指定规格的准直器以最优化测量,并提高测量效率 | 备有各种规格准直器(0.015mm –0.5mm),园形或矩形供客户选用 | 多准直器程序交换系统可同时安装4个准直器 | 大样品室设计 | 方便超大样品的推拉式平台:如大面积PCB板、较长的管材样品 | 大型开发式样品室:方便于从各方向进样和观察样品 | 三种样品台备选:可编程XY轴样品台、手动XY轴样品台、固定位置样品台 | 标准配置自动化Z轴:最大高度230mm | 集成化计算机 | 工作站式设计:改善人机工程学、方便使用 | 简化设备安装:仅需要接入主电源线,没有其他电缆 | 减少整机占用空间 | USB和Ethernet接口:打印机、刻录机、局域网和远程在线支持功能 | 其他硬件特点 | CCD相机拥有2x、3x或4x的变焦功能,可实现对测定样品的高分辨、实时、彩色图像观测 | 温度补偿功能监测系统温度,并自动校正由于温度变化可能引起的仪器漂移,保证长期的仪器稳定性 | 光谱校准、单击鼠标执行系统性能自检和校正程序保证仪器长期的稳定性 | 坚实耐用的仪器设计适用于各种工业环境 | 一体化工作站设计实现最佳的人机工程学 |
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