Zygo公司新的 NewView 6000加上 Zygo公司先进的 MetroPro*软件将是您表面测量最理想的方案。NewView6000是Zygo公司的最新一代白光扫描显微测量系统。它包括了所有以前型号的优点,并且在上两代NewView200和NewView5000 的基础上做了很大改进,有如下功能: 新型CAN-BUS结构:更可靠的测量,更快的测量速度(6300型最快达到85μm/sec)。结构的模块化设计 新型光源:采用长寿命的LED白光光源取代传统的卤素灯。 更长的测量范围:Z轴方向达到15mm 6工位手动物镜塔台(可选电机驱动的物镜塔台):无需手动更换物镜。 自动对焦-标准配置。 电容反馈式PiFoc: 新的更精确的反馈环路提供更好的重复性。扫描范围在150μm的时候仍能保证0.1nm的分辨率。 标准 640 X 480 非隔行扫描的摄像头 : 在所有的 NewView 6000中都提供高分辨率的640X480的摄像头,或选配992X1004的摄像头。 New View6000 配合Zygo公司强大的MetroPro 软件, 为您提供当今最完善的非接触式表面测量仪器。 NEWVIEW 6000 NewView 6000是一种精密的显微仪器,它是使用扫描白光干涉(SWLI)以产生定量的三维物体图像。在NewView6000中一干涉物镜安装在一可在被测物体纵向(Z轴)上扫描的精确闭环反馈的压电扫描器件上。数据由一个CCD摄像头采集,经一计算机处理。干涉图中白光光谱各部分相位关系使用Zygo公司专利的频率域(FDA)分析法分析,得到高分辨率的三维表面面形图。 |