毒性气体/氢化物气体检测/分析仪 
      适用于半导体工业 
【SC-90型】   
特点： 
●内装微机能进行自动调整和自我诊断 
●LCD液晶显示 
●小型，轻量设计 
●带峰值保持和测平均值功能 
●声/光双重报警功能 
●记录输出（1-5VDC） 
 
规格： 
检测原理 定电位电解方式 
检测气体和范围 见下表 
检测方式 连续检测/平均值检测/峰值检测 
控制功能 微机控制 
显 示 LCD自照明 
指示精度 ±10%FS以内 
反应时间 30秒内（气体浓度超3倍报警设定值时） 
采样系统 隔膜内置泵 
使用温/湿度 -10℃~~+40℃，低于90%RH 
连续使用时间 碱性干电池20小时，Ni-Cd电池10小时(无报警照明时)可连接AC外接电源 
尺寸.重量 200(W)×80(H)×142(D)mm 约1.9Kg 
 
检测气体名称 
检测气体              检测范围                   报警设定值 
磷PH3               0--1.00ppm(1刻度0.05ppm)      0.3ppm 
四氢化硅 SiH4        0--15.0ppm(1刻度0.5ppm)         5ppm 
乙硼烷B2H6          0--30.0ppm(1刻度0.5ppm)        10ppm 
胂AsH3              0--1.00ppm(1刻度0.05ppm)      0.3ppm 
氯化氢HCl           0--5.00ppm(1刻度0.05ppm)        2ppm 
氟化氢HF            0--9.0ppm(1刻度0.5ppm)          3ppm 
硫化氢(H2S)          0~~30.0ppm(一刻度0.5ppm)       10ppm 
一氧化碳(CO)         0~~300ppm(一刻度1ppm)          50ppm 
二氧化硫(SO2)        0~~15.0ppm(一刻度0.5ppm)        2ppm 
氯气(Cl2)           0~~3.0ppm(一刻度0.05ppm)        1ppm 
一氧化氮(NO)         0~~100ppm(一刻度1ppm)          25ppm 
二氧化氮(NO2)        0~~15.0ppm(一刻度0.5ppm)        3ppm