2.3.1 X坐标行程：300mm 分辩率 0.001mm

2.3.2 Z坐标行程：150mm 分辩率 0.001mm

2.3.3 Y坐标行程：100mm（调焦）

2.3.4 工作台尺寸：400mm×150mm

2.3.5 工作台摆动范围：±15°

2.4 数据处理系统

2.4.1 DP-300 多功能数据处理系统，全中文显示可做多点采样，
    座标旋转，点、线、距离，角度检测RS-232数据输出

2.5 仪器照明

2.5.1 透射照明光源：24∨，150W 卤钨灯

2.5.2 反射照明光源：21∨，150W 卤钨灯（带照明光线）

2.5.3 冷却方式： 强制风冷（透射用一只轴流风扇，反射用一只轴流风扇）

2.5.4 仪器电源：110∨/220∨（AC），50/60HZ，总功率400W

2.5.5 仪器处形尺寸（长×宽×高）：1430mm×710mm×1325mm

2.5.6 仪器重量：净重160Kg