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德国C1光谱共焦纳米级位移计
传感器测量系统基于光谱共焦原理,由光学头和控制器组成,之间通过一根光缆连接。光缆长度可根据用户需要配制,标准2米,最长10米.
原理:
卤素灯发出的全色白光由光学透镜组分离成色谱,色谱中被精确聚焦的单色光沿轴向红、黄、绿、有序精确排列,每一个单色光的波长代表一个精确的空间轴向位置。测量时,单色光在被测体表面形成的焦点,被反射到控制器中光谱空间滤波器检出,由频谱分析仪处理,被测体表面这一聚焦点上的光波波长被精确检出,轴向空间位置也就被精确检出。其波长测量原理决定分辨率高达纳米级。
特点:
*纳米级分辨率;与光强度无关,即于被测体反射系数无关;
*适用各种金属、非金属,以及透明材料的表面位置、位移测量。并与被测体表的亮暗无关;
*精致紧凑光路结构,光学传感器头离控制器几米远,给使用带来方便;
*单向可测玻璃厚度、透镜厚度,以及透明薄膜厚度测量;
*与三角反射法不同,几乎无反射角要求,且无反射平面阻挡之影响,因此可用于小孔深度测量;
*对环境要求不高:无需附加背景光,对被测体温度不敏感, 对被测体表面色差和纹理不敏感;
应用:
纳米级的测量精度,对被测表面无特殊要求,无论是漫反射或全反射被测表面都能检测。特别适合玻璃等透明物体表面平整度,及厚度测量;
小孔深度测量;透明、非透明液面测量:
指标:
量程0.3 mm
分辨率25 nm
线性0.5%
重复性10 nm
测量间隙4 mm
光源卤素灯55W
光斑直径9µm
测量垂直度90º±25º
响应:30HZ~1500HZ
输出:数据接RS232,模拟0-10V
重量:传感器约30g,仪器约4Kg