Model | 454 | 554 | 654 | 测量范围(㎜) | X Y Z | 400 500 400 | 500 500 400 | 600 (500) 500 (600) 400 | 总尺寸(㎜) | X1 Y1 Z1 Z2 Z3 | 1130 1324 2200 1480 755 | 1230 1324 2200 1480 755 | 1330 (1230) 1324 (1424) 2200 1480 755 | 分辨率(㎛) | 0.5 | 最大允许误差 per ISO 10360-2 (㎛, L:㎜) | E | 3.0+L/300 (2.0+L/300) | P | 3.0 (2.0) | 最大速度(㎜/s) | 400 | 空气要求(㎜/㎠, NL/min) | 4, 25 | 最大承重量(kg) | 400 | 500 | 机器重量(kg) | 830 (860) | 880 (910) | 930 (960) |
| | 电子驱动控制 | | 利用数字信号处理技术实现先进、持续、精确的动作控制 | | 电力供给接口及配有特殊键盘的操作手柄 |
| | 标准配件 | | 夹具 | | 空气干燥器 | | 教育模块 | | 油过滤器/空气过滤器 | | 配套基准球(直径25mm) |
* | 可以根据客户要求制造高精度及特殊式样 | * | 上述内容会因性能的改善而有所变更 |
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