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封闭离子源残余气体分析仪

价格： 面议

产品型号：CIS系列

公司名称：武汉普斯特科技有限公司

所在地：湖北武汉

发布时间：2021-10-27

联系人：刘小姐

联系电话：02787208629

武汉普斯特科技有限公司

产品简介

CIS系列封闭离子源残余气体分析仪的四极管及接收器皆处于小于10-4 Torr 的压力，又可以同时从1-10m Torr 制程压力，适合压力大于10-4 Torr的环境。

产品详情

 CIS100/CIS200/CIS300封闭离子源残余气体分析仪

 

应用领域：

真空腔残余气体分析；真空腔及阀门检漏；半导体工业：刻蚀、溅射、蒸镀的过程监测；科研高真空领域：表面科学、加速器、扫描电镜、宇航空间模拟室、排气室等；现场大气成分分析（大气污染检测、防化的便携式装备）；工业应用：反应气体污染的检测等。

产品特点：

※100, 200, 和 300 amu 系统,1 ppm 稳定探测

※最大操作压力10 mTorr , 可检测最大1 x 10-12 Torr压强

※实时RGA Windows软件

※多传感头操作,现场可替换电子倍增管和灯丝

※RGA和CIS 模式

 

技术规格：

质谱				离子发生器
型号	CIS100	CIS 200	CIS 300	设计	开放离子源,圆柱对称,电子冲击电离
质谱范围	1-100amu	1-200amu	1-300amu	灯丝	现场可替换
质谱类型	四极	四极	四极	电子能量	25-105eV,可编程
探测器类型	法拉第杯(FC)& 电子倍增器(EM)	法拉第杯(FC)& 电子倍增器(EM)	法拉第杯(FC)& 电子倍增器(EM)	离子能量	4/8eV,可编程
分辨率	优于1amu	优于1amu	优于1amu	电子发射电流	0-1mA,可编程
最大操作压力	10 mTorr	10 mTorr	10 mTorr	聚焦电压	0-150V,可编程
最大检测压强	1 x 10-12 Torr	1 x 10-12 Torr	1 x 10-12 Torr	1 x 10-12 Torr	1 x 10-12 Torr

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