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型号 | UGA100/UGA200/UGA300 | UGA 软件 | |
质谱范围 | 1-100 amu 1 -200 amu 1- 300 amu | 软件 | Windows软件,控制UGA系统包括RGA |
进口 | 系统 | ||
1 -760 Torr | 不锈钢和塑料毛细管 | 高真空泵 | 复合涡旋分子泵 |
10-1-10-4 Torr | 1/8" -1/4" 管道系统 | 膜片泵 | 先进低压 |
<10-4 Torr | 2.75" CF 法兰 | ||
流量 | 1 -10毫升/分钟(在大气压下) | ||
四极质谱 | 物理性能 | ||
类型 | 四级(RGA) | 启动时间 | 8 分钟 |
探测器 | 法拉第杯或电子倍增管 | 最大环境温度 | 35 °C |
极限探测 | <1 ppm | 尺寸 | 12 " × 11 " × 27 " (WHL) |
运行压强 | 5 × 10-6 mbar | 重量 | 85 lbs |