筛选
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压强范围 | 大气压至10-9 torr(mbar) |
密封面漏率 | < 1 x 10-9 std cc/sec 氦气 |
泵体漏率 | < 1 x 10-10 std cc/sec 氦气 |
额定使用寿命 | 300000次循环 |
传导性(分子流体) | nw16 nw25 nw40 直角: 4 l/s 12 l/s 35 l/s 直线: 4 l/s 12 l/s 35 l/s |
材料 | 泵体: 不锈钢304 风箱: 不锈钢t321 0型圈,真空: viton, v747-75 |
烘烤温度 | 手动阀:200℃ (断开); 150℃ (闭合) 气动阀:200℃(不带线圈); 150℃(闭合);60℃(带线圈) |
空气连接 | 1/8 英寸npt |
制动 | 弹簧闭合,空气断开 空气压强:80-100psig |
闭合/断开时间 | 小于300微秒 |
电源损失 | 阀门闭合时 |
远程位置显示器 | 制动器: 软件开关 电源: 125/250vac, 5 amp(最大) 型号连接: 常开或常闭 |