ULVAC NB罗茨泵系列NB1200A

ULVAC NB罗茨泵系列NB1200A
产品名称：
NB1200A
产品类别：
NB罗茨泵系列

特长和用途
技术参数表
抽气速率曲线
尺寸图

罗茨泵与油旋片真空泵、水环泵组合用，可在压力1.3×10³~1.3×10^-1Pa范围内提高抽气速率。NB系列罗茨泵是专为洁净度要求较高的场合而设计的。

特长
结净的真空
腔体内没有润滑油，对水蒸气、溶剂等气体也有稳定的排气性能。
能在高吸入压强下运转
选用比标准电机容量大一级的电机，即可实现在高吸入压强下的运转。

用途
照明、电子、光学、半导体
镀膜、溅射、离子镀、液晶注入
真空干燥、冷冻干燥、真空脱气
真空热处理炉、烧结炉、钎焊炉
分析仪器、检漏设备，CO₂激光设备

机型			NB100A	NB300A	NB600A	NB1200A
项目
抽气速率^*3 m³/h（L/min）		50Hz	95(1580)	280(4670)	500(8330)	1000(16667)
		60Hz	115(1920)	330(5500)	600(10000)	1200(20000)
最大吸入压力 Pa (连续运转时)		50Hz	1.3×10³	1.2×10³	1.3×10³
		60Hz	1.3×10³	9.3×10²	1.1×10³
最大允许压力差 Pa (排出压力-吸入压力)		50Hz	8.0×10³	4.0×10³	7.3×10³
		60Hz	6.7×10³	3.3×10³	6.0×10³
极限压力 Pa^*1			4.0×10^‐¹			6.7×10^‐¹
标准粗抽泵			GLD-N280 VDN301	VDN401	VSN1501 VSN2401	VSN1501 VSN2401
电机	kW (极) ^{2 4}		0.4（2）	0.75（2）	2.2（2）	3.7(2)
	V-Hz		380/400/415V-50Hz、380/400/440V-60Hz
使用油			ULVOIL^® R-4
所需油量 L			0.35	0.70	1.50	1.90
冷却水量 L/min^*6			空冷	2 ^*5	2	3
进水压力 MPa			－		0.3
进出水压差 MPa			－	0.05	0.1
重量 kg			24	49	77.5	110
吸气口径 (JIS B 2290)			相当 VG50	相当 VG80	相当VG80	相当VG100
排气口径 (JIS B 2290)			相当VF50	相当VF80	相当VF80	相当VF80

*1 用皮拉尼真空计测量的值，如用麦氏真空计测量，则为4.0×10^-2Pa（3.0×10^-4Torr），而NB1200A则为6.7×10^-2Pa（5.0×10^-4Torr）。

*2 电源为AC380V、50Hz、三相。

*3 随粗抽泵的性能而变化，表中为标准泵的组合的数据。

*4 NB300A、NB600A、NB1200A可分别选购1.5kW、3.7kW、5.5kW的大容量电机。

*5 对于530Pa（4Torr）以下可用空冷，但530Pa(4Torr)以上进行连续运转必须用水冷。

*6 冷却水温为5～30℃。

ULVAC NB罗茨泵系列NB1200A