石英玻璃真空观察窗(Viewports) EUV

石英玻璃真空观察窗(Viewports)技术参数：
石英玻璃真空观察窗漏率: <2x10(-10) atm cc/sec 氦气
石英玻璃真空观察窗平行度: <10 Arc Minutes
石英玻璃真空观察窗法兰材料: 304/316 不锈钢
石英玻璃真空观察窗平面度: l/4 @ 632nm Transmitted
石英玻璃真空观察窗表面抛光度：20/10
石英玻璃真空观察窗热量范围: -100˚C- 200˚C
石英玻璃真空观察窗材料: Corning HPFS 7980 Fused Silica
石英玻璃真空观察窗传感:≥99.8% @ 193nm (内部)
石英玻璃真空观察窗均匀等级: A
石英玻璃真空观察窗杂质等级: 0

EUV FUSED SILICA (EXCIMER GRADE)

Ø “A” DIM	“B” DIM	“C” DIM	“D” DIM	“E” DIM	“F” DIM	“G” DIM	订货号
1.37	.13	1.76	.68	.85	1.500	.065	A0657-16-W
2.37	.25	2.88	.79	1.10	2.500	.065	A0657-17-W

NOM.SIZE	Ø “A” DIM	“B” DIM	“C” DIM	“D” DIM	“E” DIM	订货号
1 1/2”	1.40	.13	.50	2.75	.35	A0652-1-CF
2 1/2”	2.69	.25	.68	4.50	.41	A0652-3-CF

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