椭圆偏振显微实时成像分析技术是在传统的消光（null）和离消光（off-null）椭圆偏振法基础上，结合数字处理技术发展出来的、旨在实时获取纳米尺度结构的表面或界面信息和纪录快速动力学过程的测量和显示技术。
通过把椭圆偏振法与显微镜法相结合，椭偏光学成相系统保留了传统椭偏法对厚度测量具有高灵敏度的优点，并且具有测量面积大、取样速度快、横向分辨率高和结果直观等优点。其平面精度已经能够达到1µm，立体精度已提高到0.1nm，为其进入到生物分析和微电子等新的研究区域提供了可能。
该技术还可为医院、诊所提供常规的疾病诊断工具，并将对分子生物学、医学、免疫学、生物构造工程、纳米技术、微电子工业和光通讯等领域的研究及发展起到重大推动作用。该技术不仅能够大面积精确显示超薄膜的厚度分布，而且能够用于生物分子表面的吸附以及分子间的相互作用过程的实时观察。
EP3是德国NFT公司最近推出的新一代椭圆偏振成相系统。主要应用于以下各种尖端领域：
生物芯片：同次性、膜厚、杂交、动力学等测量
LB/单层/自组合单层膜/活性剂：检测LB膜的结构、单层膜厚度、界面吸附等
接触印刷：小于1μm微结构的质量控制、膜厚测量、测量折射率和吸附
磁盘：同次性、膜硬度 (油)膜厚度、光学产品磁光学结果的观察
纳米粒子：纳米粒子上的一小块区域、折射率和吸附的分布
聚合物：膜厚、折射率和吸附测量

1.高精度回零椭圆光度法
2.的空间分辨率(1μm), 大面积图像椭圆光度法（多达若干cm2）
3.或多重的激光波长
4.的自动测角计，用于入射角调整n EP3View专用软件，用于仪器控制和基于Windows®的数据分析
5.关注区域及Δ，Ψ绘图n 可通过局部网络实现远程控制和服务

原理：PCSA配置的自动回零（Auto-Nulling）图像椭圆光度法
椭圆光度分辨率：Delta/Psi精度 0.001 deg　　绝对精度 0.01 deg
立体分辨率：1-35μm（平面解析精度：1μm，纵向解析精度：1 nm）
激光器波长:532 nm(可选405/488/514/543/594/633/650/690/785/830/905nm)
灵敏度:0.05~0.2nm
解析时间:快，22×73mm在1.2μm精度下只需不到一分钟的时间
图像系统:768 x 572像素CCD照相机
电子组件:
内置基于Pentium芯片的控制器
带Matrox Meteor II 抓图器
内置Linux操作系统
电源:电压100-240 VAC, 50/60Hz 最大电流10 A