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产品应用 | ||
V10FC-M/HM型MFC外观图 | ||
产品特点 ● 通用型,适合10Mpa以下各种气体测量 ● 无热漂移,可以忽略的温移和时漂,长期稳定性0.1%F.S/年 ● 准确度0.8%,量程可在100:1范围内按键设定,无需标定 ● 瞬时和累计流量、压力、温度可同时显示和输出 ● 无需预热,测量时无响应滞后 ● 内置31种气体转换系数,无比热容附加误差,不影响精度 ● 自动累计,分段累计功能 | ||
技术指标 | V10FC-M/HC质量流量控制器 | V10FC-M/HC质量流量计 |
量程范围 | 小量程:5SCCM~10SLM 中量程:10SLM~30SLM 大量程:30SLM~250SLM | |
控制范围 | 控制器50:1 | 流量计100:1 |
准 确 度 | 流量:±0.8%读数±0.2%满量程 | |
可选±0.4%读数±0.2%满量程 | ||
压力:0.5%F.S 温度:±1℃ | ||
线 性 | ±0.5%F.S | |
重复精度 | ±0.2%F.S | |
响应时间 | 100ms | 10ms |
数 字 量 | RS232/485,MODBUS协议 | |
模 拟 量 | 0~5V、4~20mA、1~5V | |
供电 | 12V/24V/±15V可选 | |
工作温度 | 0~50℃ | |
工作压力 | 工作压差:0.03~0.5MPa | 工作压降:<0.01Mpa |
最大耐压 | 中压3MPa,高压10MPa | |
电气连接 | DB15孔 | |
漏 率 | 1×10-9SCCSHe | |
温度系数 | ±0.015%F.S/℃ | |
底座材质 | 316L | |
密封材料 | 氟橡胶,氯丁橡胶,丁晴橡胶 | |
接 头 | VCR1/4;swagelokφ6 |